潔凈室氣流
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等產(chǎn)生的塵埃的移動、擴散受到氣流的支配。一般潔凈室氣流的速度是選0.25-0.5m/s之間，此流速屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機器等的動作干擾而趨于混亂，為了使?jié)崈?/span>室的潔凈度處于達標(biāo)狀態(tài)，保持潔凈室氣流的均一性就顯得尤為重要。
例：垂直層流式方向要保持均一氣流須做到：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一。一般無塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
應(yīng)注意的是，一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，這樣的話作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；如果分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
此外，潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在這附近的潔凈度將會變差，我們可以在在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減低；另外組裝材料的選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象的重要因素。
了解更多潔凈室氣流的知識可參照宏瑞科技前期文章【潔凈室氣流流型的檢測目的和方法】。
